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第522章 服不服?(2/2)

万多个机械部件,200多个传感器,而在如此庞大的机械结构构成的光刻机,需要的是每一台机器同步协调。

而如此庞大的机械组,想要稳定,就必须要做到精准。

一般来说,最好的安装师,误差不会超过2n就是极限,如果误差超过了loonm,那就是一场灾难。

引起灾难也必然顺理成章。

特别是最为重要的温控系统。

温度和空气压力变化会影响对焦,而且机器内部的机械件高速运转,就需要对温度进行实时控制和检测,温度需要始终维持在千分之五度,而且必须配备合理完善的冷却方式,精准的测温传感。


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